УФ-лампа не содержит ртуть, обеспечивает окисление органических контаминантов за счет использования технологии c эксимером ксенона, излучающим на волне 172 нм;
уровень ТОС измеряется в режиме онлайн монитором А10 безртутной УФ-лампой, при использовании предочищенной воды качества Elix значение ТОС менее 2 ppb;
финишные фильтры для удаления контаминантов определенного вида в точке отбора воды обеспечивают получение сверхчистой воды, подходящей под разные задачи, использование разных финишных фильтров в каждом POD позволяет получить сверхчистую воду с разными характеристиками;